生产开始165章芯片生产设备到位试第

那么差如米联邦。但也的布局了。虽然我也芯片产业。片半导体其实我早就已经在做没你们想的承认，咱们国家的芯技术，眼下是不

一到位百八十的逻辑生产出己的芯片了。国产光刻机，马上就能咱们自器芯片也已经设计到三百五十纳米以内的处理”们i光源投影式完成，只要国产光刻机咱属于咱们自己告诉你们一个好消破。理论上已经能够制造出三息吧！芯片。更重要的是已经完成了技术突

口呆了。众人听到这当然是目瞪

龙翰科技了。能生产出自己的处理器芯片

真的假的？

这幸福也来的太突然了吧！

总，您说的都是真业急忙道：“苏的吗？”韦弘

设完成了。你去组！对了，金总监，我在魔都建设经定了一套次西方不亮。你去抓紧时好，东西一到位，尽去那边组织组织，把试验车间准备球离开谁都照样转。必须要让米联东方亮，这地苏翰道：“当然是在短时间内织一队精兵猛将。我是那种喜欢开玩笑魔都的芯片生产厂，的人吗，生产出咱的生产线，最近看，芯片试验性真的了的芯片来。这我现在已们自己间调试设备，必须要的芯片工厂，已经建。邦那帮家伙看快安装。咱们要就要组装，然后试生产

们就自己造某国人不让咱们用他们的芯片，咱芯片。

，说到计算机，龙翰科人都知道技硬件水平也是一样这次必须要。”强让全世界的

金梦拍胸脯接下了这凡急忙个军令状。

政部门的负责人也其他行是一脸的羡慕。

金梦凡这么一去十有八九就是地方大员了。

产厂的行政国内首个芯片生的不行。把手，想想一也是牛逼

班，该干什么，还干以后，看看联邦那帮家伙，还说什去不看了看众人道：“么。”说，等到时候咱们用上自己的芯片。芯片的事情出什么苏翰大家按部就要乱米

众人闻言顿时是血条再次满血复活。

样有气无力了。一个个再也不像之前那

纷纷都想打好这场翻身仗。

……

后。会

的芯片生产厂。往魔都金梦凡带着一帮亲信前

做空气质量测直没有设备，芯片生产厂，已经只是反复在建好半年多了，由于一试。

毕竟芯片生产非需要无尘环境对空气常高的。质量要求还是

金梦凡带队到了以后，员，准备迎接设备的到来。急忙组织人

……

一周后。

安装。刻机、封装纷到首机等等设备纷机、离子注入厂开始批测验用的光

要的功能就是光源光刻机最重和曝光工艺。

光工不行，主要是光源国产光刻机以前为什么滞后，当然曝技术明显艺也不行。

其实片生是采用第一代g光源国际市场上产纳米左右产设备，普微米到八百量最大的芯。遍还的技的一点五术

造。芯片制片都要十纳米以内的高端求三百五毕竟不是所有的芯

。三百六十五纳米左右的芯片制造光源才是主要用于而第二代的i

也已经深紫外光（duv）有了。不过第三代光源

产能很稳定并不能形成只是这会还不是。

v）现在所有人都没有头绪。而第四代光源技术极紫外光（eu

都卡在这个地方。光刻机制造领域几乎全球所有的

试向着第三代光源靠产已经虽然芯片生近。尝

但量产的其实还是在第二代附近转悠。

英特尔源量产的产品。是第二代光司的k系列用的都m;公公司的奔腾系列和a;

市场，实全球的光刻机上还是第二代光庄。际源技术在坐

说到这个时间节点的。光刻机制造水平

两个品牌为主。以长岛国的

之前还处于第一代的水机而苏翰说的国产光刻平。

完了光源问题又要说说曝光工艺的问题说。

毕竟一不可。光源和生产工艺缺

现在的光刻机曝光工艺总共分为三种。

曝光。第一种接近式

第二种接触式曝光。

第三种投影式曝光。

精度接触式曝光。很高

要接触率低，成本高，不适成晶圆片和掩膜版晶圆片需合大规模生产。，容易造的损伤，良品但接触式曝光

。没现在几乎人用了

损线衍射问题自己的问题，就是有光不触碰晶圆片，没有想要提高良品率，只能后分辨损失分辨率。，光线衍射以接近式曝光，虽然高。但接近式曝光也有率低。伤，良品率也

没人用了。然也生产处的芯片精度太差自

投影式曝光会在掩膜版和光刻胶之间使用透镜聚光来提高分辨率。

是眼工艺。所以投影式曝光工艺下芯片加工的主要

大方向。只是不过投影式曝光

有不同的下面还加工工艺分支。

进步式、扫描式如等等……、离轴同轴

其实些加工工艺上片制造的难点就在这了。芯

不同的加工工艺代表了不同的生产速度和良品率。

日而语。生产效率自然不可同

术还停留在一代的水机之前的光源技而国内的光刻平。

虽然曝光工艺也度和效率不行落后，式，但艺曝光生产速是投影。工

说的突破，分三个层面，一个是光上的突破，还有而苏翰各种生产材料上的突，一个就是曝光工艺破。源上的突破

机是一代g光源以前的国产光刻。

研发。经过一年多的辛苦

i光源。终于突破到了二代

有未来那么变态竟这会的光刻毕机光源技术还没。

到位突破起来还是有可能的。只要钱

制约芯片生产主要是投影式曝光的工艺流程。

他就能推算出对方知识其实的并不多，但了解他知道很多芯片设计图的工艺顺序到底是什么纸，其实从这些图纸上苏翰对光刻机的相关。

而已不精通设备生产和制造芯片设计的，只是竟他是精通毕。

。不过有了工顺序，起艺码有个模糊的答案

案虽然答并不能保证百分之百准确。

之百准确的答案。但苏翰并不是要百分

不是抄袭确百分之百准别人了吗。

的纠纷。这样容易惹起知识产权

产团队自己去想办法路，剩下的就叫光刻团队一个工艺思苏翰只是给光刻机生产。机生

(本章完)